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机译:射频分离器偏转模腔的设计与测量
Wanzenberg, R; Bellantoni, L; Edwards, H; McAshan, M S;
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机译:微机械压差传感器,具有两个压力测量腔,这些压力测量腔通过一个通道链接,并充满不可压缩的液体,每个腔都被一个可偏转的膜覆盖,从而能够进行压力测量
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